真空度测试仪操作说明

• 真空度测试仪接线说明

让灭孤室两触头处于分开状态，然后绕上磁控电圈，再把磁控线圈的两个插头插到磁控电流输出的两个红黑插头上。另外，高压线与离子线分别接在真空泡的两个触头上（动、触头不分）。

• 按键说明

面板上所有的按键，若其上的小指示灯亮则表示按键有效，反之，则无效。若该键有效时，再按该键，则指示灯灭，该键处于无效状态。

• 测试步骤方法

• 开机

检查接线正确后，方可开机。将仪器面板上的电源开关键按向“开”位置，数码显示屏的*即出现“P”字，经校验(3.2步骤)正常后, 说明仪器运行正常，预热5分钟后便可进行测量.

• 仪器检查

执行该功能，校验仪器及自检功能。顺序按【选择键】、【校验键】、【测量键】，使其有效。使用上下键调节检查参数（管型显示处）

• 选择参数1～3采样放大器检查：

调至1时，显示值均0.000---9.000×10^-6之间；

调至2时，显示值均0.000---9.000×10^-5之间；

调至3时，显示值均0.000---9.000×10^-4之间；

• 选择参数4充电控制检查：

调至4时，充电回路接通，终将电容电压控制在350V。

• 选择参数5，显示器检查：

此时，显示器逐笔点亮，六位一致不多笔画少笔画。检查完毕需按【复位键】。

选择参数6，启动高压：

这时，高压指示灯亮，高压产生，显示器后四位显示高压值，单位是万伏。做该项检查时，注意高压线位置，以免发生危险。

• 选择参数7，内部数据存储器检查：

   仪器内计算机对内部数据存储器进行严格检查，显示器显示出正在接受检查的单元的地址，若出错，则计算机停止检查，显示器的值即是出错地址。单元编号以8000H—9FFFH，当接近9FFFH时，按住上下键，则检查结束时，退出该项检查，反之，则重复检查。

• 管型选择
  • 测量时，首先确认真空泡管型。参照说明书内附录一或附录二。将真空泡管型对
    应的曲线号输入仪器显示窗口管型内。
  • 若说明书中没有标明所测量的管型时，可于现场量出真空泡直径（外径），寻找
    对应的曲线号即可。应注意的是测量时尺寸尽量相近，并且接线方式相同。
  •    使【选择键】有效，然后用↑键↓键调整管型参数，调出所需的曲线号（详见第二章仪器介绍/性能特点/第三节）
  • 如果没有可代用的参数，则可使【校验键】有效，这样可直接给出电离电流，一

般来说，电离电流（A）较真空度（Pa）小两个数量级左右。

• 被测管型是10KV以上选用选择开关高档位，10KV以下选用选择开关低档位。

3.4 测量

• 管型确定后，按下【选择键】退出选择，按下【测量键】。仪器便自动完成所有

的测量、计算、显示等全过程。若此时按下打印键，则打印测量结果。

• 仪器内计算机执行测量步骤如下：

启动高压→测漏电电流→关闭高压→接通充电开关→电压到规定值→启动磁控电流，测量漏电电流+电离电流，→扣除漏电电流→电流转变成真空度值→显示。若【校验键】有效，则显示电流值